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通常，參數測試系統將電流或電壓輸入被測器件（DUT），然后測量該器件對于此輸入信號的響應。這些信號的路徑為：從測試儀通過電纜束至測試頭，再通過測試頭至探針卡，然后通過探針至芯片上的焊點，到達被測器件，并最后沿原路徑返回測試儀器。
無論是全自動探針測試臺還是自動探針測試臺，x-y向工作臺都是其最核心的部分。有數據表明探針測試臺的故障中有半數以上是x-y工作臺的故障，而工作臺故障有許多是對其維護保養不當或盲目調整造成的，所以對工作臺的維護與保養就顯得尤為重要。本文僅對自動探針測試臺x-y工作臺的維護與保養作一介紹。
芯片測試是IC制造業里不可缺少的一個重要環節，探針卡是芯片測試必需的精密工具，探針卡狀態的好壞直接影響著測試的質量。本文簡單介紹探針卡的常見故障及對測試造成的影響并討論探針卡的維護方法。
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